化學(xué)清洗及安全知識

1、化學(xué)清洗

在半導(dǎo)體器件的工藝實(shí)驗(yàn)中，化學(xué)清洗是指去除吸附在半導(dǎo)體、金屬材料和電器表面的各種有害雜質(zhì)或油漬。清洗方法是利用各種化學(xué)試劑和有機(jī)助熔劑溶解被清洗物表面吸附的雜質(zhì)和油脂，或通過超聲波等物理措施使被清洗物表面的雜質(zhì)脫附，加熱，抽真空，然后使用大量高純度的冷熱去離子水沖洗，以獲得清潔的表面。

2.化學(xué)清洗的重要性

過程中的每一個(gè)實(shí)驗(yàn)都有化學(xué)清洗的問題?；瘜W(xué)清洗的質(zhì)量嚴(yán)重影響實(shí)驗(yàn)結(jié)果。如果處理不當(dāng)，實(shí)驗(yàn)結(jié)果將不可用或不好。因此，明確化學(xué)清洗的作用和原理具有重要意義。眾所周知，半導(dǎo)體的一個(gè)重要特性是對雜質(zhì)非常敏感。只要有百萬分之一甚至少量的雜質(zhì)，就會影響半導(dǎo)體的物理性能。我們利用這一特性通過摻雜制造具有各種功能的半導(dǎo)體器件。然而，由于這一特點(diǎn)，給半導(dǎo)體器件的工藝實(shí)驗(yàn)帶來了麻煩和困難。使用過的化學(xué)試劑、生產(chǎn)工具、清洗水等都可能成為有害雜質(zhì)的污染源。即使干凈的半導(dǎo)體晶圓長時(shí)間暴露在空氣中，也會造成明顯的雜質(zhì)污染?；瘜W(xué)清洗是去除有害雜質(zhì)，保持硅片表面清潔。

3、化學(xué)清洗的范圍

化學(xué)清洗主要包括三個(gè)方面：一是清洗硅片表面；二、清洗用過的金屬材料（如蒸發(fā)電極用鎢絲、蒸發(fā)墊用鉬片、蒸發(fā)源用鋁合金、鉻板用鉻等）；三是清潔工具和器具（如金屬鑷子、石英管、玻璃容器、石墨模具、塑料和橡膠制品等）。

4、工業(yè)化學(xué)清洗的應(yīng)用類別

化學(xué)清洗行業(yè)的發(fā)展不僅為全社會提供有效的技術(shù)服務(wù)，而且成為社會文明的重要標(biāo)志。隨著國家工業(yè)化和現(xiàn)代化的進(jìn)程以及社會生產(chǎn)和日常生活的需要，化學(xué)清洗得到了廣泛的應(yīng)用。

1、化工行業(yè)的化學(xué)清洗化工行業(yè)的化學(xué)清洗主要包括以下幾個(gè)方面：

(1)新設(shè)備投產(chǎn)前的清洗。首先清除軋屑、防銹油、絕緣材料碎屑等。

(2)清潔設(shè)備的水垢層?；ぴO(shè)備的結(jié)垢種類繁多復(fù)雜，如各種油漬、積碳、各種催化劑粉塵、副反應(yīng)沉積物、聚合物等，需要規(guī)劃專門的清洗工藝，去除水垢層，保證正?；ぴO(shè)備的操作。

(3)水冷系統(tǒng)的清洗。一是清除各種水垢、設(shè)備腐蝕水垢、其他系統(tǒng)帶來的沉積物等。

其次，金屬加工業(yè)中的化學(xué)清洗往往需要在金屬加工前和加工過程中去除表面的油污和氧化物。電鍍件需要預(yù)處理和清洗，以增強(qiáng)鍍層的附著力；以預(yù)處理和清洗為借口，使粘接部位牢固；涂裝前需進(jìn)行預(yù)處理和清洗，以免漆下發(fā)生電化學(xué)腐蝕，提高涂層附著力。金屬件的搪玻璃需要預(yù)處理和清洗；冷軋、熱軋鋼板、塑料加工等，都需要化學(xué)清洗。